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上海飚翔印刷器材有限公司

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日本富士感光浆

功能特点
特性:
1、FMR是负性感光抗蚀剂,有较好的耐酸、耐碱性。
2、FMR的解像性比较好,由于抗蚀剂中的金属离子含量极少,所以适合于半导体管(电晶体)、二极体、IC(集成电路)和LSI(大规模高密度集成电路)等方面使用。

使用方法:
1、表面处理:对金属板进行完全的脱脂、脱锖,请用本公司的Neocupron(用水稀释5-10倍)和弱碱水(2%氨水)进行中和,脱脂后请充分用水洗。
2、涂布处理:可用多种涂布方法,如旋转、浸蘸、喷涂等。
3、烘干:置入热风恒温干燥器中,80-1000C,20分钟;或置于加热板上,80-1000C,2分钟。
4、曝光:用i线(365nm)~g线(436nm)曝光。
5、显像:使用FMR显像液,在常温下显影1分钟,用FMR洗涤液冲洗30秒。
6、烘烤:在1500C的情况下,加热20-30分钟,或置于加热板上,1500C,3分钟,可以提高耐腐蚀性。
7、蚀刻:按常规处理。
8、剥膜:使用FMR剥膜液,在常温下浸渍2-3分中,然后用水洗。

包装:
500ml 2L 18L
应用范围
--
技术参数

种类及危险等级:

 品      名

 种类分四类

 危险等级

 FMR 

  第2石油类 

 Ⅲ

 FMR显影液

 第2石油类

 Ⅲ

 FMR稀释液

 第1石油类

 Ⅱ

 FMR染色液

 第2石油类

 Ⅲ

 FMR冲洗液

 第1石油类

 Ⅱ

 FMR剥膜液

 第2石油类

 Ⅲ

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